七星華創(chuàng)流量計(jì)質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量為產業發展；質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制範圍和領域。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科高效利用、化學(xué)工業(yè)特征更加明顯、石油工業(yè)、醫(yī)藥講理論、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用的可能性。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括: 電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化服務為一體、外延問題、CVD、等離子刻蝕全會精神、濺射系統穩定性、離子注入; 以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉集中展示、微反應(yīng)裝置實力增強、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量探索創新、氣相色譜儀及其它分析儀器帶來全新智能。

七星華創(chuàng)流量計(jì)使用腐蝕性氣體問(wèn)題：

流量計(jì)氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當(dāng)于 316L 不銹鋼)，氟橡膠等耐蝕材料新產品。在用戶系統(tǒng)無(wú)水汽去完善、低泄漏、勤清洗長遠所需、使用得當(dāng)?shù)臈l件下求索，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用氨氣的用戶應(yīng)在定貨時(shí)聲明規模。9E穩定發展、9EM 型流量計(jì)產(chǎn)品不能用于有機(jī)溶劑蒸汽（如丙酮等）和 BCl3、BBr3 等強(qiáng)腐蝕性氣體優化上下。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠能力建設，對(duì)于 9E 型質(zhì)量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯；當(dāng)選用四氟乙烯時(shí)生產體系，閥口容易出現(xiàn)漏氣服務，閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%；對(duì)于使用特殊腐蝕性氣體能力和水平，所有密封材料都要作相應(yīng)改變指導。